【摘 要】
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溅射中性粒子质谱或称二次中性粒子质谱(SNMS)是一种新的表面分析技术。与二次离子质谱(SIMS)一样,其检测灵敏度高达ppm—ppb。由于中性粒子的溅射产额不受基体的影响,因而SN
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溅射中性粒子质谱或称二次中性粒子质谱(SNMS)是一种新的表面分析技术。与二次离子质谱(SIMS)一样,其检测灵敏度高达ppm—ppb。由于中性粒子的溅射产额不受基体的影响,因而SNMS可简单并准确定量。直接轰击模式的SNMS作深度剖析可用能量很低的一次离子轰击源以避免级联混合效应,从而获得极高的深度分辨率。
Sputtered neutral mass spectrometry or secondarily neutral mass spectrometry (SNMS) is a new surface analysis technique. Like secondary ion mass spectrometry (SIMS), its detection sensitivity is as high as ppm-ppb. SNMS can be simply and accurately quantified because the sputtering output of neutral particles is unaffected by the matrix. Depth profiling of SNMS in direct bombardment mode A very low energy, primary ion bombardment source can be used to avoid cascading mixing effects, resulting in extremely high depth resolution.
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