【摘 要】
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提出利用静电贴膜技术制备无碳污染MCP电子透射膜工艺方案 ,探讨了贴膜与辉光气体放电的关系 ,制备了 4nm厚MCP电子透射膜 .实验测得该电子透射膜的成分只有铝和氧元素 ,MCP
【机 构】
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提出利用静电贴膜技术制备无碳污染MCP电子透射膜工艺方案 ,探讨了贴膜与辉光气体放电的关系 ,制备了 4nm厚MCP电子透射膜 .实验测得该电子透射膜的成分只有铝和氧元素 ,MCP带膜前、后的体电阻和暗电流没有变化 ,MCP带膜后电子增益略有增加 .
In this paper, we proposed a process scheme of preparing carbon-free MCP electron-transmissive film by electrostatic filming technology and explored the relationship between film and glow gas discharge and prepared a 4nm thick MCP electron-transmissive film. The experimental results show that the composition of the electron-transmissive film is only aluminum and oxygen , Body resistance and dark current before and after the MCP tape did not change, the electronic gain of the MCP tape slightly increased.
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