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【摘 要】
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针对超精密机床亚微米级几何误差检测和补偿需求,研制了一套超精密机床加工误差补偿系统。首先,提出了基于双测头误差分离法的以工件为基准的机床运动直线度在位检测方法,实
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,国家机床产品质量监督检验中心（四川）,南京理工大学发射动力学研究所
【出 处】
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吉林大学学报:工学版
【发表日期】
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2020年6期
【基金项目】
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国防科工局技术基础科研项目(J0067-1922-FJC),国防科工局科学挑战专题项目(TZ2018006-0104).
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