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本文分析了测厚系统的测量原理,并对整个测量系统的硬件组成进行了介绍,最后对系统进行整体测试.结果表明,该系统测量薄膜厚度可以达到很好的测量效果,具有很高的应用价值.
基于电容传感器的薄膜厚度测量系统设计
【摘 要】
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本文分析了测厚系统的测量原理,并对整个测量系统的硬件组成进行了介绍,最后对系统进行整体测试.结果表明,该系统测量薄膜厚度可以达到很好的测量效果,具有很高的应用价值.
【机 构】
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桂林航天工业学院电子信息与自动化学院
【出 处】
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教育教学论坛
【发表日期】
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2016年19期
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