<正> 一、概述离子注入技术是当代半导体器件的基础工艺。目前生产中用得最多的离子注入机的能量大都在200keV左右。对某些高水平的鬼子器件而言,这种中等能量的离子注入深度
本文对离子注入重要效应之一的抛光效应产生机理、一些试验结果及其在微细加工中的应用做了较深入的探讨。
俗话说,金口难开,贵人语迟。孩子说话晚,在很多人看来不是事,有的孩子到了一岁多两岁多,还不能比较顺畅地说话或者还不说话,家长也不着急,认为说话早晚都能学会,但需要提醒的
8月3日至9日,来自全国十八个省、市、自治区和日本、美国、印度、土耳其及香港地区的敦煌吐鲁番学专家、教授、科研工作者和新闻出版界人士约160人云集新疆乌鲁木齐市,参加第二
在数学习题教学过程中,要引导学生对一些题目用不同的思想方法,从不同的思维角度去寻找多种解法,不仅有助于培养学生灵活运用知识的能力,而且也有助于对他们发散思维的训练和
关于教学性质的思考□陇西县教研室薛庆余☆☆教学理论研究☆科学性是教学工作的基本性质认识到教学的科学性,对教学工作来说是至关重要的事。承认科学性,就意味着承认教学工作
<正> 离子注入是半导体器件制造中一项很重要的工艺,由于微电子工业对具有MeV级能量的离子注入的兴趣日益增长,对高能离子束的要求也日益迫切,此外,在某些应用中,需要有高达1
61岁的老赵是一位大学老师,十分受人尊敬,退休后衣食无忧,精神矍铄。可是,自今年春节以后,老赵的变化很大,因为一向身体健康的他变得极度消瘦,四肢无力,完全像换了一个人似的。
本文简要介绍了近年研制出的几种主要类型负离子源及其工作原理,重点是等离子溅射型重金属负离子源。概述了这些负离子源在材料科学中的应用前景,如离子注入和薄膜淀积等。