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本文简要介绍了近年研制出的几种主要类型负离子源及其工作原理,重点是等离子溅射型重金属负离子源。概述了这些负离子源在材料科学中的应用前景,如离子注入和薄膜淀积等。
负离子源及其应用
【摘 要】
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本文简要介绍了近年研制出的几种主要类型负离子源及其工作原理,重点是等离子溅射型重金属负离子源。概述了这些负离子源在材料科学中的应用前景,如离子注入和薄膜淀积等。
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1993年2期
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