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本文对离子注入重要效应之一的抛光效应产生机理、一些试验结果及其在微细加工中的应用做了较深入的探讨。
离子注入抛光效应的研究
【摘 要】
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本文对离子注入重要效应之一的抛光效应产生机理、一些试验结果及其在微细加工中的应用做了较深入的探讨。
【机 构】
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北京师范大学低能核物理研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1990年4期
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