【摘 要】
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微机电系统(microelectron-mechanicalsysteem)微机电系统就是利用半导体集成电路的加工工艺方法在硅片上制造出尺度在imp-Innn的微电子机械系统,英文缩写为MEMS。这是一项国际公
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微机电系统(microelectron-mechanicalsysteem)微机电系统就是利用半导体集成电路的加工工艺方法在硅片上制造出尺度在imp-Innn的微电子机械系统,英文缩写为MEMS。这是一项国际公认的崭新技术。备技术发达国家均将其列为国家重大技术科研项目之一。机器虽小,作用却大。它
Microelectromechanical system (microelectron-mechanicalsysteem) MEMS is the use of semiconductor integrated circuit processing technology to create the scale in the imp-Innn microelectromechanical system, abbreviated as MEMS. This is an internationally recognized new technology. Prepared technology developed countries are listed as one of the major national technology research projects. Although the machine is small, the role is great. it
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