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目前关于计算机模拟薄膜的生长的报道主要是以单金属薄膜的生长和多元化合物为主,而氧化物薄膜模拟报道很少。本文基于传统公认薄膜生长过程,介绍了氧化物薄膜的生长模式。同时,介绍了氧化物薄膜的影响因数和计算机模拟氧化物薄膜生长的三种主要方法及其应用特点,包括了速率方程理论、第一性原理分子动力学、蒙特卡罗方法,并详细介绍了当前国内外计算机模拟氧化物薄膜生长的研究现状。