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应用MSM结构光电探测器相对光谱响应的理论公式，得到金刚石膜MSM紫外光电探测器相对光谱响应理论曲线，与实验曲线进行比较，发现两者吻合得很好。探测器光谱响应的截止波长都在220-230nm范围，紫外光与可见光的相对响应度相差一个数量级。根据MSM结构光电探测器光谱响应曲线拟合出金刚石薄膜厚度、少子扩散长度等表征参数，探讨金刚石膜吸收层反射率、吸收系数、金刚石的晶粒大小及金属电极叉指指宽、指距等参数对金刚石膜MSM光电探测器光谱响应和量子效率的影响。