基于二维表面等离子体激元的微结构

• 作 者: 章蓓 栾峰 徐军 金艳波 徐万劲 张会珍 钱怡 马骁宇 朱恪
• 机 构: 北京大学物理系和介观物理国家重点实验室,中国科学院半导体研究所,中国科学院物理研究所
• 出 处: 固体电子学研究与进展
• 发表日期: 2002年4期
• 关键词: 电子束诱导沉积 表面等离子体激元 铟镓铝磷量子阱 光致发光 纳米碳 electron beaminduced deposition surface plasma
• 基金项目: 国家自然科学基金，国家重点实验室基金

在介电常数符号相反的两个材料的界面处可激发出表面等离子体激元(Surface plasmon).文中利用普通扫描电子显微镜中出现的电子束诱导沉积纳米碳基本现象,提出和发展了一种无需光刻胶和额外掩模的亚微米图形化技术.采用这一新方法,成功地在镀金的半导体InGaAlP量子阱表面制备了各种亚微米点阵结构,并得到基于二维表面等离子体激元的可见波段半导体发光的增强作用.