【摘 要】
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本文首次报导了作为 Hg_(1-x)Cd_xTe 液相外延衬底的 CdTe 晶片中存在着狭窄的微细孪晶,其宽度由数十微米到数微米。这些微细孪晶在液相外延过程中将向Hg_(1-x)Cd)_xTe 外延
【机 构】
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昆明物理研究所 昆明 650223
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本文首次报导了作为 Hg_(1-x)Cd_xTe 液相外延衬底的 CdTe 晶片中存在着狭窄的微细孪晶,其宽度由数十微米到数微米。这些微细孪晶在液相外延过程中将向Hg_(1-x)Cd)_xTe 外延层延伸,形成相应的 Hg_(1-x)Cd_xTe 微细孪晶,从而导致外延层表面出现细长的直线线痕,程度不同地破坏了 Hg_(1-x)Cd_xTe 液相外延层表面的平整性和光洁度。
This paper reports for the first time the existence of narrow fine twins in CdTe wafers as Hg_ (1-x) Cd_xTe liquid-phase epitaxy substrates, ranging from tens of microns to several microns in width. These fine twins will extend to the Hg_ (1-x) Cd) _xTe epitaxial layer during the liquid phase epitaxy to form corresponding Hg_ (1-x) Cd_xTe fine twins, resulting in the appearance of elongated straight lines on the surface of the epitaxial layer The flatness and finish of Hg_ (1-x) Cd_xTe liquid phase epitaxial layer were destroyed differently by the marks.
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