扫描电镜中纳米材料的原位操纵和动态观察

• 作 者: 吉元 王丽 卫斌 张隐奇 徐学东 程文海
• 机 构: 北京工业大学固体微结构与性能研究所,上海易微信息科技有限公司
• 出 处: 北京工业大学学报
• 发表日期: 2008年4期
• 关键词: 微操纵仪 扫描电镜(SEM) 蛋白石 纳米线 micromanipulator scanning electron microscope （SEM） op

介绍了配置在扫描电镜（SEM）中的微操纵仪（MMS）的操作原理、性能及应用．MMS在水平转动（X轴），上下转动（y轴）和线性进退（Z轴）的移动精度分别达到5，3．5，0．25nm．利用具有纳米精度的移动和定位的MMS，对BiV04晶体、硅藻土、蛋白石和ZnO纳米线等纳米材料进行了原位操纵和动态观察．该装置可操纵质量为纳克级，尺寸为几百纳米至几微米的样品．SEM—MMS系统为原位分析纳米材料提供了一种崭新的手段．