表面功能特性分形分析(英文)

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ryu_sh
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表面分形分析已开展多年,虽然在涉及制造过程控制方面时出现过一些争论,但已获得了许多有意义的结果.与此同时,用分形来研究表面功能特性所取得的进展有限,其原因之一是,以前分形的重点在于功率谱,而不是对于空间更为敏感的自相关函数.基于此,笔者首次将分形参数引入到基于自相关系数的表面功能参数.进展有限的另一原因是,与表面功能相关的许多确定性实验没有将分形参数包含在参数集中,这主要是由于过去没有能够给出分形参数的表面光洁度仪器,从而失去了确定分形参数价值的可能性.文中提出了一种新的、简单的测量分形特性的方法,它不仅能够利用现有仪器,而且可以从已进行的测量中根据已有的数据快速评定分形特性. Fractal analysis of the surface has been around for many years, and although there has been some controversy over the control of manufacturing processes, many interesting results have been obtained. At the same time, the progress made in the study of surface functional properties using fractal has been limited, First, the former fractal is focused on the power spectrum, not the space-sensitive autocorrelation function.Based on this, for the first time, the author introduces the fractal parameters into the surface function parameters based on the autocorrelation coefficient.The other reason for the limited progress is that, Many deterministic experiments related to surface function do not include fractal parameters in the parameter set, which is mainly due to the lack of surface smoothness instruments that can give fractal parameters in the past, thus losing the possibility of determining the value of fractal parameters. A new and simple method of measuring fractal properties that not only makes use of existing instrumentation but also allows rapid evaluation of fractal properties from available measurements based on the measurements made.
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