【摘 要】
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加工面的表面光洁度是决定单位面积信息量的重要因素之一。例如它影响磁带、磁鼓以及 LSI 用的衬底等的可靠性、稳定性。在摩擦、润滑、接触电阻等的研究中,表面加工状态及
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加工面的表面光洁度是决定单位面积信息量的重要因素之一。例如它影响磁带、磁鼓以及 LSI 用的衬底等的可靠性、稳定性。在摩擦、润滑、接触电阻等的研究中,表面加工状态及表面光洁度的分布等也是重要的参数。因此测量表面光洁度和评价表面的统计性质,成为许多有关方面应用的重要课题。本文
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