TFT矩阵动态检测系统

• 作 者: 莫希朝 王宗畔 赵颖 熊绍珍
• 机 构: 中山大学电子机械研究中心,南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 广州 510275,天津 300071,天津 300071,天津
• 出 处: 光电子·激光
• 发表日期: 1997年01期
• 关键词: 薄膜晶体管 TFT矩阵 电荷测量 动态检测 自动测试 自动检测系统 存储电容 漏极 导电橡胶 测试系统

本文介绍了基于电荷测量原理的TFT矩阵自动检测系统。该系统可以对TFT矩阵进行多参数的检测,并可用来统计矩阵的成品率及分析TFT的动态特性。

This paper introduces the TFT matrix automatic detection system based on charge measurement principle. The system can detect multiple parameters of the TFT matrix, and can be used to calculate the yield of the matrix and analyze the dynamic characteristics of the TFT.