【摘 要】
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在普通双沟平面掩埋异质结（ＤＣ－ＰＢＨ）激光器的基础上，采用质子轰击的技术，制作了一种新型的选择性质子轰击ＤＣ－ＰＢＨ激光器。这种新型的激光器结构与以前普通的ＤＣ－ＰＢＨ结构相比阈值电流降低，输出功率及量子
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在普通双沟平面掩埋异质结（ＤＣ－ＰＢＨ）激光器的基础上，采用质子轰击的技术，制作了一种新型的选择性质子轰击ＤＣ－ＰＢＨ激光器。这种新型的激光器结构与以前普通的ＤＣ－ＰＢＨ结构相比阈值电流降低，输出功率及量子效率得到提高，尤其是它的调制特性得到明显改善，这种结构激光器的调制带宽由原来的２．０ＧＨｚ提高到６．０ＧＨｚ。
Based on the common double-trench buried-heterojunction (DC-PBH) laser, a novel selective proton bombardment DC-PBH laser was fabricated by proton bombardment technique. Compared with the conventional DC-PBH structure, the new laser structure has lower threshold current, higher output power and higher quantum efficiency, and especially its modulation characteristics have been significantly improved. The modulation bandwidth of such a structure laser is reduced from the original 2. 0GHz increased to 6.0GHz.
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