辐射加热式钛升华器

来源 :真空技术报导 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuzhiwei00
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本文评述了一种采用近似球形钛壳、里面含有钨丝加热器的新型辐射加热式升华器。该升华器结构比较简单,当升华率为0.5克/小时可蒸发出约37克钛。在给定的输入功率下,升华率在升华器整个寿命中相对地保持恒定,同时制造很简单而且工作可靠。用球形和园筒形两种升华器作比较试验, This article reviews a new radiant-heated sublimer that employs an approximately spherical titanium shell with a tungsten heater inside. The sublimer structure is relatively simple and about 37 grams of titanium can be evaporated at a sublimation rate of 0.5 grams per hour. At a given input power, the sublimation rate is relatively constant throughout the lifespan of the sublimer and at the same time is very simple and reliable to manufacture. With spherical and cylindrical two kinds of sublimation for comparison test,
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