【摘 要】
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以色利耶路撒冷Hebrew大学应用物理系教授JosephShappir发明一种基于标准VLSI硅技术构建光器件的方法OPTIMOS技术。该技术基于两种原理的组合,一是用硅VLSI技术构建波导结构;
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以色利耶路撒冷Hebrew大学应用物理系教授JosephShappir发明一种基于标准VLSI硅技术构建光器件的方法OPTIMOS技术。该技术基于两种原理的组合,一是用硅VLSI技术构建波导结构;二是用外部电场控制波导核心的折射指数。其基本结构是硅和氧化硅多层结构,氧化层作为覆层,硅作为核心,
Joseph Shappir, professor of applied physics at Hebrew University in Jerusalem, Israel, invented a method for constructing optical devices based on standard VLSI silicon technology, the OPTIMOS technology. The technology is based on a combination of two principles, one is the construction of a waveguide structure using silicon VLSI technology and the other is the control of the refractive index of the waveguide core with an external electric field. The basic structure of silicon and silicon oxide multilayer structure, the oxide layer as a coating, silicon as the core,
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