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近日，北京七星华创电子股份有限公司（七星电子）与华力微电子签订2台12英寸立式氧化炉供销合同，用于其55nm集成电路生产线。这标志着七星电子的氧化炉产品继在中芯国际验证成功后，又一次在国内高端集成电路生产领域取得突破，开始走向商用化。
七星电子12英寸集成电路立式氧化炉实现产业化
【摘 要】
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近日，北京七星华创电子股份有限公司（七星电子）与华力微电子签订2台12英寸立式氧化炉供销合同，用于其55nm集成电路生产线。这标志着七星电子的氧化炉产品继在中芯国际验证成功后，
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2015年4期
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