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<正> 1 电子束曝光机 日本日立制作所研制成HL—800DI和HL-800DⅡ电子束直接作图装置。这种装置是在可变矩形束的基础上,采用自投影方式,使生产率大幅度提高,可作为64M~256MDRAM的曝光装置,用于存储器和ASlC的大批量生产。生产率为每小时可曝光20片ULSl储存器圆片。