【摘 要】
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近年来离子敏感场效应传感器(简称 ISFET)发展十分迅速,成为半导体传感器的重要组成部分。ISFET 是一种测量溶液中离子活度的微型固态电化学敏感器件。它是由离子选择电极敏
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近年来离子敏感场效应传感器(简称 ISFET)发展十分迅速,成为半导体传感器的重要组成部分。ISFET 是一种测量溶液中离子活度的微型固态电化学敏感器件。它是由离子选择电极敏感膜与半导体场效应管(简称 MOSFET)相结合起来的一种特殊离子探针。ISFET 具有输入阻抗高,输出阻抗低,结构紧凑,体积小,响应快,多功能,
In recent years, ion-sensitive field-effect sensor (referred to as ISFET) the rapid development of the semiconductor sensor has become an important part. ISFET is a miniature solid state electrochemical sensor that measures ion activity in solution. It is a special ion probe that combines the sensing film of the ion-selective electrode with the semiconductor field-effect transistor (MOSFET) for short. ISFET has high input impedance, low output impedance, compact structure, small size, fast response, multi-function,
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