【摘 要】
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本文工作利用脉冲激光沉积术(PLD)和超高真空扫描隧道显微术(UHV-STM),研究了在Sr/Si(001)-(2×1)衬底表面上真空室温沉积几个单层SrTiO3薄膜的初始生长过程.经660℃退火处理
【机 构】
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中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家实验室,
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本文工作利用脉冲激光沉积术(PLD)和超高真空扫描隧道显微术(UHV-STM),研究了在Sr/Si(001)-(2×1)衬底表面上真空室温沉积几个单层SrTiO3薄膜的初始生长过程.经660℃退火处理后,Sr/Si衬底表面上形成了纳米岛状结构.经分析,这些纳米小岛为C49-TiSi2和C54-TiSi2.实验结果表明,在没有氧气的情况下退火,Sr/Si界面无法有效阻止SrTiO3薄膜与Si衬底之间的相互作用.
In this work, we investigated the effect of vacuum deposition at room temperature on the surface of Sr / Si (001) - (2 × 1) substrates by pulsed laser deposition (PLD) and ultrahigh vacuum scanning tunneling microscopy Layer SrTiO3 thin films.After the annealing at 660 ℃, the surface of the Sr / Si substrate formed nano-island structure.After analysis, these nano-islands were C49-TiSi2 and C54-TiSi2.The experimental results show that in the Without annealing, the Sr / Si interface can not effectively prevent the interaction between SrTiO3 film and Si substrate.
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