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MOS结构Si/SiO2界面态的电荷泵测量
MOS结构Si/SiO2界面态的电荷泵测量
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zoe8480
【摘 要】
:
建立了一套进行MOS结构Si/SiO2界面态电荷泵测量的测试系统,其发展的快速电荷泵技术可使界面态测量速度达到5次/秒,分析研究了泵电流与Si/SiO2界面态测量之间所应关注的技术细节,借助于电荷泵法,研究
【作 者】
:
张国强
王国彬
【机 构】
:
中国科学院新疆物理研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1997年5期
【关键词】
:
MOS结构
硅
氧化硅
界面态
电荷泵
测量
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建立了一套进行MOS结构Si/SiO2界面态电荷泵测量的测试系统,其发展的快速电荷泵技术可使界面态测量速度达到5次/秒,分析研究了泵电流与Si/SiO2界面态测量之间所应关注的技术细节,借助于电荷泵法,研究了PMOSFET Si/SiO2界面态在辐照和退火过程中生长和退火的行为规律。
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