Si、Cr的加入对TiAIN涂层抗氧化性能的影响

• 作 者: 胡涛 朱丽慧 刘振宇 刘一雄
• 机 构: 上海大学材料科学与工程学院,上海200072;A Inc., Latrobe, PA 15650, USA
• 出 处: 硬质合金
• 发表日期: 2014年3期
• 关键词: TiAlN TiAlSiN TiAlCrN coating oxidation resistance

比较了阴极电弧蒸发工艺制备的Ti0.45Al0.55N、Ti0.35Al0.55Si01N和Ti0.3Al0.55Cr0.15N涂层在850℃和900℃的抗氧化性能.通过X射线衍射仪(XRD)、高分辨率扫描电镜(HRSEM)和能谱仪(EDS),研究Si、Cr对Ti0.45Al0.55N涂层抗氧化性能的影响.结果表明:Si和Cr的加入均能有效提高Ti0.45Al0.55N涂层的抗氧化性能,细化涂层晶粒,促进Al向涂层表面扩散形成致密的Al2O3氧化层,抑制锐钛矿型TiO2向金红石型TiO2转变,提高TiAlSiN涂层和TiAlCrN涂层的抗氧化性能.另外,TiAlCrN涂层中CrO3的形成进一步提高了其抗氧化性能.