MOS器件的质子总剂量效应

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoxiaoDang
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介绍了几种加固和非加固MOS电路的质子辐照总剂量效应实验,质子束的能量为9、7、5、2MeV。实验结果表明,在相同的吸收剂量下,MOS器件累积电离辐射损伤与质子能量成正比,还给出了栅极偏压对器件质子辐射损伤的影响,结果认为,对于NMOSFET,不论是加固器件,辐射感生界面态的密度也较高;而加固型PMOSFET,在0V的栅压下,辐射损伤比-5V下严重,且界面态的密度高。
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