【摘 要】
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论文综述了MEMS技术的发展概况,并对MEMS加速度传感器进行了总结.在系统设计上首先采用了创新的压阻检测、静电力反馈闭环伺服控制原理的加速度测量方法.阐述了系统的工作原
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论文综述了MEMS技术的发展概况,并对MEMS加速度传感器进行了总结.在系统设计上首先采用了创新的压阻检测、静电力反馈闭环伺服控制原理的加速度测量方法.阐述了系统的工作原理.建立了系统的数学模式,并推导出传递函数.提出了静电刚度的概念.在结构设计上采用了具有限位过载保护和压膜阻尼调整的三明治(Sandwich)结构,同时实现了芯片级封装.在三明治结构的中间敏感结构层上设计了独特的梁膜结构,在保证结构在敏感方向上具有足够灵敏度的前提下,有效的减小了其他非敏感方向上的灵敏度.制定了新的版图设计规则,在完成该论文芯片版图设计的同时,为类似器件的版图设计提供了参考.研究分析了反馈放大电路,并在此基础上设计了系统的信号放大、反馈及力矩器电路.针对该项研究的特点,摸索出上整套自主的MEMS加工工艺,在整套工艺的设计上充分考虑了各个工艺环节间的相互影响,优化、简化工艺,从加工工艺上保证产品的性能指标和最终成品率.
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