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【摘 要】
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本文利用微波表面波等离子体化学气相沉积(PECVD)技术在载玻片、单晶硅片、PET膜等基底上沉积类金刚石(Diamond-like Carbon，DLC)薄膜。通过傅里叶红外光谱(Fourier transform
【机 构】
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北京印刷学院
【出 处】
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北京印刷学院
【发表日期】
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2014年期
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