【摘 要】
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随着半导体技术和电子产业的不断发展,相关企业对光刻机的要求也越来越高,如何提升光刻机运动控制精度的精度也成为了重要问题。因此本文面向直写式光刻机,就如何提高直写式
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随着半导体技术和电子产业的不断发展,相关企业对光刻机的要求也越来越高,如何提升光刻机运动控制精度的精度也成为了重要问题。因此本文面向直写式光刻机,就如何提高直写式光刻机运动控制系统性能和精度进行了研究,这对加快我国半导体行业发展具有重要的理论意义和实际应用价值。本文基于直写式光刻机运动控制系统,为提高运动控制系统的精度,对运动控制系统的控制策略进行了研究,采用带前馈模糊PID和低通滤波相结合的控制策略,并进行仿真和实验对比,验证带前馈模糊PID控制方法的优越性和实用性,并结合低通滤波功能,增加运动控制系统的稳定性。此外还对由于运动控制平台机械机构的设计、制造、装配所造成的系统定位误差补偿进行了研究,进一步提升运动控制平台的精度。所做主要工作包括:(1)对运动控制系统的结构和特点进行分析,并对直写式光刻机运动控制系统进行建模。(2)提出运动控制系统的指标需求,并进行控制策略研究,采用带前馈模糊PID与低通滤波相结合的控制策略。最后对运动控制系统的误差补偿进行研究,采用样条插值补偿作为系统的误差补偿方法。(3)结合实际的直写式光刻机运动控制系统对几种控制策略进行实际验证对比,成功验证了带前馈的模糊PID控制方式的可行性和低通滤波功能的必要性,并对运动控制系统进行系统误差补偿。
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