【摘 要】
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随着"信息时代"的到来,各种新型平板显示器件受到人们的青睐.玻璃是各种平板显示器件中最普遍使用的基本结构材料,但玻璃中的碱金属离子容易迁移至玻璃表现析出,使显示器件的
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随着"信息时代"的到来,各种新型平板显示器件受到人们的青睐.玻璃是各种平板显示器件中最普遍使用的基本结构材料,但玻璃中的碱金属离子容易迁移至玻璃表现析出,使显示器件的特性劣化.在玻璃基板上镀制碱金属离子阻挡膜,是较好的解决方案.采用该实验室自行研制的脉冲溅射电源、用铝靶反应溅射的工艺方法进行了Al<,2>O<,3>薄膜的沉积实验;采用水浴法和原子吸收光谱对薄膜的钠离子阻挡性能进行了测试,并对测试误差产生的原因进行了分析,提高了测试的准确度;采用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行了分析.
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