【摘 要】
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光伏谱是一种利用半导体的光生伏特效应对半导体材料和薄膜结构进行检测的非破坏性光学实验技术.通过高频调制光入射,采用电容耦合方法和锁相放大技术测量半导体样品的光伏响
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光伏谱是一种利用半导体的光生伏特效应对半导体材料和薄膜结构进行检测的非破坏性光学实验技术.通过高频调制光入射,采用电容耦合方法和锁相放大技术测量半导体样品的光伏响应谱.此方法具有光路简单、无损检测、高灵敏度和直接反映样品吸收特征等优点.该文分析了半导体不同类型的光生估特效应机制的理论基础,建立了计算机自动控制的电容耦合法无接触光伏实验系统.利用这一实验系统,测量并分析了半绝缘砷化镓(SI-GaAs)材料和Al<,0.25>Ga<,0.75>As/In<,0.2>Ga<,0.8>As/GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT)的室温光伏谱.实验结果表明半导体样品的光伏谱对样品表面状况非常敏感,是对半导体材料进行检测的一种有效的实验技术.
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