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本论文主要针对目前(Ba,Sr)TiO3(BST)薄膜漏电机制研究中最常使用的Schottky发射(热电子发射)模型的电流方程的不足，结合BST薄膜自身的特性，建立了空间电荷诱导的非均匀电场强度下的热电子发射—漂移扩散(TE-DD)模型，并主要通过有限差分的数值计算方法研究了多种情况下BST薄膜的漏电机制，分析了相关现象的本质原因，为寻求降低BST薄膜漏电流的有效途径提供理论依据。
本论文研究了空间电荷的大小和分布对BST薄膜漏电流的影响。利用一个相对合理的技术从电容—电压关系提取了一个BST薄膜内部的电荷密度分布，并以此为输入参数模拟了其在Schottky效应区，即中等电压范围和较高温度下的漏电特性。用脉冲激光淀积制备了BST薄膜来研究氧气气氛下的退火处理降低漏电流的原因。