【摘 要】
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本文的研究内容围绕MEMS器件优化方法与技术展开，开展优化系统结构的研究、典型MEMS器件优化方法的研究、参数优化算法的研究，编制相关软件，形成较为完整的MEMS器件设计与参数优
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本文的研究内容围绕MEMS器件优化方法与技术展开，开展优化系统结构的研究、典型MEMS器件优化方法的研究、参数优化算法的研究，编制相关软件，形成较为完整的MEMS器件设计与参数优化系统。
针对固支梁、悬臂梁和梳状谐振器这三种结构，分别对它们的结构参数优化进程进行描述，运行算法得到了优化的结果，并分别对上述结构的F-I类比或F-V类比的小信号等效电路宏模型进行了SPICE的系统级模拟与Coventor Ware软件的验证。对四边固定的矩形膜，提出了结构参数的自动优化思想，通过开发的软件得到了优化结果，并对其F-I类比的二维电路阵列小信号等效电路宏模型进行了系统级模拟和CoventorWare软件验证。
根据建立的基本MEMS器件的结构参数优化思想，完成了基本的MEMS器件优化算法的接口设计软件MEMS-Auto Optimization，实现了基本器件结构参数的自动优化。
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