【摘 要】
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该文详细分析了阵列传感技术的作用、特点和现状,指出了阵列传感技术研究的必要性和重要性,并在此基础上研究了阵列传感技术基础理论,研究了微机械阵列振动传感频谱分析系统,
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该文详细分析了阵列传感技术的作用、特点和现状,指出了阵列传感技术研究的必要性和重要性,并在此基础上研究了阵列传感技术基础理论,研究了微机械阵列振动传感频谱分析系统,在中国首次设计制作了机电一体化的硅基压阻式加速度传感器阵列,这项研究处于中国领先水平,国际先进水平.该论文还深入研究了硅微机械加工中的金属引线及焊点的保护技术和硅的多次掩膜腐蚀两项关键技术;经过多次实验,在中国首次成功研制了由8个硅微压阻悬臂梁式加速度传感器阵列.建立了微加速度传感器阵列特性标定和振动频谱分析的实验系统;对传感器阵列的幅频特性和灵敏度进行了标定,并进行了单个简谐振动信号的频谱分析.最后分析了微机械阵列振动传感频谱分析系统在机械设备故障诊断中应用的可能性和特点,并具体探讨了硅微振动频谱分析阵列传感系统在滚动轴承疲劳破坏故障诊断中的应用方法.
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