高功率CO<,2>激光器双通道放电特性研究

来源 :中国科学院上海光学精密机械研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuang810
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CO2激光器技术在最近三十多年的发展中,由于其在工业上不可取代的重要地位,其研究工作一直备受重视,发展速度很快。如今,国际上研究的热点是以射频激励的扩散型冷却CO2激光器为代表的第二代高功率CO2激光器。目前国内相关技术尚未达到商品化的程度。在这种背景下,继续提高和改进现有的直流电激励快速气体流动CO2激光器技术有着重要的现实意义。   本文首先简单分析了CO2激光器的发展及现状,并特别对国内相关技术发展情况作了总结。系统研究了高功率CO2激光器的实现原理,其中重点是对气体辉光放电理论的研究。然后特别针对国内的横流CO2激光器技术,对其一般的总体结构、主流的电极结构及其放电特性做了分析。   以上述理论为基础,提出了一种适用于低阶模输出的新型管板式电极。通过各种实验详细研究了其放电特性,包括电极参数对放电的影响,以及辅助放电电极、电源、电极冷却方式等因素的影响,最终确定了最佳方案。其阳极块长边沿阴极管方向,提高了放电均匀性和稳定性,增加了有效放电长度;阳极沿气流方向的长度和阴阳两极之间的距离根据输出模式确定,可充分利用激活体积,提高选模激光光电转换效率;其放电均匀稳定,可减小限流电阻值,降低外电路电功损耗。与现有管板电极相比,可提高注入到激活体积内的电功率密度,明显提高选模激光输出功率和总体效率。多模输出时直接光电转换效率可达20%;低阶模TEM11输出时光电转换效率可达15%,激光器总效率达8%。   以上述电极结构为基础,针对国内现有的管板式放电的激光器产品,提出了一种共阴极的双通道放电电极,实现了结构设计,并进行了放电试验研究。此电极结构紧凑、简单,仅对原技术做简单调整,即可实现双通道放电,采用∏型腔输出,功率可比原技术有大幅度提高,在同样的效果下将大大降低制造和运行成本。
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