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硅基微波集成基础器件与工艺的研究,是了为适应微波、毫米波技术在军事、民用领域应用日益广泛这一需求而提出来的.研究的目的在于利用MEMS手段,在硅材料上制作性能优良、体积小、成本低廉的微波集成电路.该文内容主要分为两部分.第一部分论述硅基场发射阵列的制作.第二部分是对硅尖阵列的电学测试.第二部分是硅基微波/毫米波传输线及相关电路的设计、制作和测试分析工作.