【摘 要】
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该文首先根据力学本质概括了各种主要微陀螺结构类型,并对其建立了简化力学模型和数学模型.对单音叉和振动轮式这两种最常见的微陀螺,该文分别根据机电系统分析动力学中的拉
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该文首先根据力学本质概括了各种主要微陀螺结构类型,并对其建立了简化力学模型和数学模型.对单音叉和振动轮式这两种最常见的微陀螺,该文分别根据机电系统分析动力学中的拉格郎日-麦克期韦方程和高等动力学及陀螺力学中刚体的一般运动微分方程,建立了普遍机电系统动力学模型.该文设计了一种典型的振动轮式微陀螺结构,通过计算分析,发现这种微陀螺存在的主要问题:互阻尼造成检测信号极为微弱.对此,该文创新性地设计了一种新型振动轮式微陀螺结构,减轻了互阻尼现象,计算分析结果表明,这种新型结构具有显著增强检测运动、双轴微陀螺功能、对线加速度不敏感等突出特点.最后该文原理性地设计了检测系统,并对微陀螺的加工制造作了初步的探讨.最终初步完成了整个微电子机械系统的设计.
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