氮化镓纳米薄膜声子和热血性能的多场耦合效应理论研究

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氮化镓(GaN)作为第三代半导体材料重要代表,在微纳米器件中有着大量的潜在应用,使得GaN纳米结构及其器件受到了学者们的广泛关注。然而,目前GaN纳米结构材料性能的研究,鲜有考虑环境物理场对纳米尺度下GaN材料性能的影响。本文通过弹性理论的波传导方程和声子玻尔兹曼输运方程,定量地研究了表面应力和压电效应对GaN纳米薄膜声子特性和热导率的影响,并给出了调控半导体纳米结构声子特性和热学性能的有效方法。  首先,基于弹性理论的波动方程,给出了量子限域效应下半导体纳米薄膜声子特性的理论描述,包括声子色散关系、声子态密度和声子群速度,并采用有限差分法计算得到剪切模态、对称模态和反对称模态的声子特性;同时,基于声子输运方程推导得到声子热导率的解析表述,通过数值模拟得到量子限域GaN纳米薄膜的声子热导率随着温度的变化情况,以及热导率的量子尺寸效应。  其次,针对表面应力对GaN纳米薄膜声子特性和热学性能的影响,本文在薄膜总的应变能中考虑了表面能效应,将应变能对应变进行求导得到纳米薄膜的等效弹性模量,并结合波传导方程求得了在表面应力作用下GaN纳米薄膜声子特性的理论表述;然后,通过求解声子玻尔兹曼输运方程,得到了虑及表面应力效应的GaN纳米薄膜声子热导率。最后,分别研究了不同厚度、不同大小的表面应力以及不同温度下GaN纳米薄膜的声子热导率。计算结果表明:表面应力对声子热导率产生显著的影响,负的表面应力提高了声子热导率,正的表面应力降低了声子热导率。同时表面应力对于声子热导率的影响体现出明显的尺寸效应,即声子热导率的表面应力效应随着薄膜厚度的减小而增强。  最后,由于半导体材料的压电系数存在显著的尺寸效应,本文研究了压电效应对GaN纳米薄膜声子特性和热导率的影响。在波传导方程中考虑压电本构方程,通过数值差分求得压电效应对于声子弥散关系、声子群速度和态密度的影响;基于声子玻尔兹曼输运方程,得到虑及压电效应的声子热导率解析表述。计算结果表明:压电效应提高了声子平均群速度而降低了声子态密度,同时GaN材料的压电效应显著地提高了GaN纳米薄膜的声子热导率。  根据以上的理论研究,本文得到了用于调控GaN纳米薄膜声子特性和热导率的有效方法,即:1)通过调控GaN基层状纳米结构的界面/表面应力来调控GaN纳米薄膜的声子特性和热导率;2)由于GaN具有显著地压电效应,而压电效应可以显著改变GaN纳米薄膜的热导率,因此可以通过施加外加电场的方式来调控GaN纳米薄膜的热导率。这些研究结果将会对GaN基微纳米器件的稳定性和安全性设计有一定理论指导意义。
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