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在高温、高真空的苛刻条件下,液体润滑剂已经无法满足使用要求,在这种情况下,固体润滑膜可以代替液体润滑剂有效地发挥润滑功能,并广泛应用于空间技术领域。由于具有优异的摩擦学性能,WS2润滑膜成为解决苛刻条件下润滑问题的有效途径,但纯WS2薄膜在潮湿和富氧气氛中摩擦学性能较差,为此进行的研究表明,金属添加剂可以改善WS2薄膜的摩擦学性能。
本文采用S-枪磁控溅射制备WS2-Ti复合薄膜,采用SEM、XRD对薄膜的形貌、结构、化学成分进行了表征和测试;利用划痕实验法测定了薄膜的界面结合强度。采用球一盘式摩擦磨损试验仪测试了薄膜的摩擦磨损性能。结果显示,WS2和Ti以非晶念存在于复合膜中;工作气压越大,薄膜结构越疏松;Ti的加入有利于薄膜的致密化,提高薄膜的结合强度。
采用S-枪磁控溅射制备WS2-Cu复合薄膜,采用SEM、XRD对薄膜的形貌、结构、化学成分进行了表征和测试,采用球一盘式摩擦磨损试验仪测试了薄膜的摩擦磨损性能。结果表明:WS2以非晶态形式存在,Cu以晶态分布于其中;WS2-Cu复合薄膜结构致密,在100℃和200℃的大气环境中具有较小的摩擦系数和较好的摩擦稳定性。