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来源 :北京大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
近年来由于手机和其它电子便携设备(如笔记本电脑、数码相机、mp3等)的迅猛发展,使得非挥发性存储器的市场需求量越来越大。随着技术节点的不断缩小,基于传统浮栅结构的闪存(Flas
【作 者】
:
张伟兵
【机 构】
:
北京大学
【出 处】
:
北京大学
【发表日期】
:
2014年期
【关键词】
:
氧化铪基
阻变存储器
铝掺杂
氮化钛晶向
退火工艺
臭氧处理
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