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在当前纳电子器件研究中,纳米线晶体管被国际半导体技术路线图着重指出,认为是最有可能替代传统的MOS器件。近年来,一种新型的芯—壳结构半导体纳米线,以及相应的场效应晶体管被制备出来,并表现出优异的输运特性。由于芯—壳异质结的晶格失配,这种纳米线器件存在显著的应变效应。我们从理论上研究了应变效应对芯—壳纳米线能带结构的调制,以及对相应晶体管输运特性的影响。
我们首先建立芯—壳纳米线的应变能模型,模拟了芯—壳结构纳米线中的应变分布;然后调用计入应变效应的推广kp模型,计算了应变效应下的芯壳纳米线价带结构;接下来,我们模拟了芯—壳结构纳米线晶体管的弹道输运特性,以及声子散射下的迁移率特性。模拟结果显示,晶格失配引起的应变显著的调制了纳米线的价带结构,它引起价带上移,以及顶部子带有效质量减小。这些效应引起了晶体管的开态电流增大,提高了晶体管的性能。但深入研究发现,应变引起的开态电流增大依赖于栅控的强弱。在弹道输运极限下,栅介质层越薄,栅控越强,相应的静电相互作用增强,这抑制了应变引起的电流增大;在声子散射的输运情况下,壳层变厚,引起更多的子带有效质量减小,但同时减弱了栅控,导致沟道载流子浓度下降,故存在一个折中的壳层厚度,以达到电导率的最大化。
对比不考虑应变的计算结果,我们计入应变效应后的能带计算结果与输运模拟结果,与相关实验数据的吻合度极大的提高了。
综上,我们建立的从应变分布模拟到应变下的电子结构计算,到应变下的输运特性模拟这一整套模拟方法。我们的模拟方法不仅可以为芯—壳结构纳米线晶体管的深入研究提供指导,而且也适用于其他纳米尺度半导体异质结器件的模拟与分析。