【摘 要】
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该论文的主要研究内容有以下几方面:首次综合阐述了薄膜制备的喷雾热分解方法.该文从溶液的配制、制备工艺手段以及成膜机理等各方面对喷雾热分解方法进行了总结.该文报道了
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该论文的主要研究内容有以下几方面:首次综合阐述了薄膜制备的喷雾热分解方法.该文从溶液的配制、制备工艺手段以及成膜机理等各方面对喷雾热分解方法进行了总结.该文报道了用喷雾热分解法制备二氧化锡薄膜的湿敏效应.测量表明:该薄膜的粒径为85nm,微孔尺寸在0.03ˉ0.14nm之间;较高湿度区阻抗值随湿度变化近似线性;从高湿到低湿湿度平均每上升1%RH,阻值下降8.8Ω;响应速度小于1分钟;阻值恢复较容易.首次报道了喷雾热分解法制备二氧化锡薄膜的紫外光敏特性.结果表明:该薄膜对紫外光十分敏感,灵敏度较高,亮电阻与暗电阻相差两个数量级;在40W紫外灯照射下,当样品和紫外灯之间距离从26.8cm移至8cm时,亮电阻变化了47.5KΩ;光照时响应时间约1分钟,但遮光后退激发时间较长,具有光存储效应.
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