【摘 要】
：
该论文对复合薄膜湿度传感器的制造工艺进行了详细论述.通过大量的实验,总结出阳极氧化和浸润分解的最佳工艺组合,制造出性能优异的湿度传感器.解决了热分解工艺的浸润性问题
论文部分内容阅读
该论文对复合薄膜湿度传感器的制造工艺进行了详细论述.通过大量的实验,总结出阳极氧化和浸润分解的最佳工艺组合,制造出性能优异的湿度传感器.解决了热分解工艺的浸润性问题,并对阳极氧化过程中,易于出现的"晶化"问题进行初步探讨,总结出一定经验,有待于进一步研究.复合薄膜湿度传感器是由阳极氧化钽膜上利用浸润热分解工艺形成二氧化锰涂层,而后在二氧化锰层上蒸镀上银电极构成的.因Ta<,2>O<,5>-MnO<,2>界面具有湿敏活性-能对周围气氛中的水分子产生可逆的吸附、脱湿作用.随着吸湿量的增加,传感器的电容值相应地增加,脱湿时电容量相应地下降.该湿度传感器具有如下优点:1.具有线性度优异的容-湿特性曲线.2.感湿响应迅速,响应时间小于60(S).3.体积小易于集成化.4.检测和控制电路简单,性能稳定.
其他文献
随着我国人民生活水平的日益提高,城市居民私家车保有量急剧上升,交通拥堵和车辆尾气排放导致的环境污染问题日益严重。因此,为了缓解交通拥堵,必须大力推广公共交通方式出行
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
【摘要】众所周知，园林工程是现代城市发展中很重要的施工项目，园林工程设计涉及的专业及工程内容较多，其中景观设计中最为关键的就是生态化植物配置。生态化植物配置的目的是提高生态性、观赏性，因此需要设计人员将美学和生态学相结合，在保证传统景观艺术观赏性的同时，也要提升园区整体生态环境效益，以便达到生态园林的可持续发展。 【关键词】园林景观设计;植物造景;应用 在我国，通过植物造景进行生态园林设计已经
随着计算机技术和通信技术的发展,测控网络获得了突破性的发展,但是现有的测控网络往往受限于繁杂的线缆连接。ZigBee/IEEE802.15.4技术是一种短距离、低功耗、低成本的无线
电动汽车电池模块是电动汽车电力系统的核心，是整个电动汽车的心脏。其性能直接影响着电动汽车能否正常、稳定的运行。在以二次电池为能量存储装置的电池模块中，需要研制可靠的
该文结合实际课题,在深入了解了原有系统的性能与设计原理之后,主要对"多媒体教学系统"中的"主控软件"进行了编程和实现,从而将原有系统从单纯的语音教学升级为多媒体教学,大
该论文研究了和探索了掌纹图象分析与识别的理论和方法,建立了基于人工神经网络的掌纹图象识别系统.该文首先详细地介绍了生物统计学和掌纹识别的发展历史、现状及掌纹分析与
步进电机是一种将电脉冲转化为角位移的执行机构。步进电机驱动器是把控制电机的脉冲信号转化为步进电机的角位移信号的装置,所以,可以通过控制脉冲的个数和频率来控制步进电