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经过反复实验,该工作提出离子速溅射氧化钢粉末靶与氮氢还原气氛中退火相结合的方法制备氧化钢热敏薄膜.论文研究离子束溅轩热敏的方法及工艺条件,用AES、XPS、XRD、AFM等测度技术对氧化钒薄膜的结构组分进行表征,用范德堡薄层电阻测试法没定了氧化钒薄的电阻温度热敏特性.
氧化钒热敏薄膜的制备和性质研究
【摘 要】
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经过反复实验,该工作提出离子速溅射氧化钢粉末靶与氮氢还原气氛中退火相结合的方法制备氧化钢热敏薄膜.论文研究离子束溅轩热敏的方法及工艺条件,用AES、XPS、XRD、AFM等测
【机 构】
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复旦大学
【出 处】
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复旦大学
【发表日期】
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2000年期
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