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膜层厚度是光学薄膜的重要参数,它直接决定了光学薄膜的性能.因此,在镀膜中提高膜厚临近精度和自动化程度,是很重要的.该研究所做的光学薄膜厚度实时监测系统正是对目前国产镀膜设备进行了相应的技术改造.克服其控制稳定性差、精度不高等缺陷,提高膜层厚度控制的精度及镀膜的稳定性(重复性).该系统对国产镀膜机的膜厚监控系统进行了四光路透镜成像系统改造和光纤、光电传感系统的设计,相应地对反射光监控信号采用了双锁相放大电路进行处理,并完成了模拟信号的数字化采集、滤波、显示.