【摘 要】
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针对国内微电子行业存在的用于蚀刻与清洗的柠檬酸纯度不够的问题，本论文对电子级柠檬酸的制备方法进行了研究，创新性地提出了通过超净电解法来制备电子级柠檬酸的新工艺。通过
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针对国内微电子行业存在的用于蚀刻与清洗的柠檬酸纯度不够的问题，本论文对电子级柠檬酸的制备方法进行了研究，创新性地提出了通过超净电解法来制备电子级柠檬酸的新工艺。通过在H型电解槽中小试的研究，确定了最优的电解条件为:电解的柠檬酸质量分数为20％，温度为50℃，电极距离为1.5cm。采用金属离子的等效替代方式实现了在非超净环境下对阴离子交换膜的选择，最终确定选用AHT阴离子交换膜。根据小试的实验结果，设计了用于中试的超净电解装置，并在其中成功除去了柠檬酸中的绝大部分难以用常规方法分离的金属离子，再结合离子交换树脂法对电解的柠檬酸产品作进一步处理，最终成功地制备了电子级柠檬酸，其中柠檬酸的浓度大于等于40％，Na+、K+、Li+、Ag+、Ca2+、Mg2+、Zn2+、Cu2+、Ni2+、Cr3+离子的浓度都低于10ppb，Al3+离子的浓度在20ppb左右，Fe3+离子浓度在29ppb左右。该工艺制备的柠檬酸纯度更高，能满足现阶段半导体行业对超净高纯柠檬酸的要求。
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