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该文研究的意义在于,为国内外正在致力研究的硅微加速度计的弱信号检测技术探索设计理论和方法,研究设计过程中的技术难点,并为克服技术难题提出了可能实现的解决方案与途径,研究内容具有普遍意义,不仅适用于硅微加速度计,而且适用于硅微陀螺仪、硅微压力传感器、硅微执行器等多种微机传感器的微弱信号检测.