【摘 要】
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金刚石因具有极高的硬度、高导热性、低摩擦系数和低热膨胀系数等优异性能已成为理想的刀具模具材料。CVD金刚石薄膜涂层刀模具就是在刀模具基体上直接沉积金刚石薄膜，与金刚
【出 处】
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同济大学职业技术教育学院 同济大学
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金刚石因具有极高的硬度、高导热性、低摩擦系数和低热膨胀系数等优异性
能已成为理想的刀具模具材料。CVD金刚石薄膜涂层刀模具就是在刀模具基体
上直接沉积金刚石薄膜，与金刚石刀模具相比，具有相似的性能，但其制造设备
投资小，性能价格比高，具有很强的市场竞争力。金刚石薄膜的高效抛光是一个
有待解决的难题。本论文首次提出了用磁性研磨抛光金刚石薄膜。并对抛光机理
和技术进行了深入研究。
本论文主要完成的工作有：
1研制改装符合内表面抛光的磁性研磨装置，并对磁性研磨机理进行了分析
研究。
2分析并了解了磁性磨粒的制备技术，采用烧结法制备磁性磨粒的研制。针
对金刚石薄膜内表面的抛光特点，分析磨粒参数对抛光的影响。
3对金刚石涂层硬质合金拉丝模的制备进行了较系统的研究，成功的在现有
设备的基础上利用直拉热丝CVD法，得到了厚度和质量都比较均匀的金刚石涂
层拉丝模。
4金刚石薄膜的表面粗糙度直接影响试件的使用寿命和性能，使用磁性研磨
装置对金刚石涂层拉丝模进行抛光，抛光效果比较理想，工作寿命比没抛光前提
高8～10倍。对抛光参数进行了实验分析。
关键词：磁性研磨，抛光，表面粗糙度，CVD金刚石薄膜，涂层拉丝模
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