【摘 要】
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该文首先回顾了国内外超声驱动的发展和应用,指出了现阶段超声驱动的研究方向.在超声驱动的理论、制造水平、试验装置和材料的现状下,研究了超声驱动的一些关键技术.分析了超
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该文首先回顾了国内外超声驱动的发展和应用,指出了现阶段超声驱动的研究方向.在超声驱动的理论、制造水平、试验装置和材料的现状下,研究了超声驱动的一些关键技术.分析了超声驱动的工作原理,研究了超声驱动的压电振子的微观运动与超声马达宏观运动运动之间的关系,阐述了扭转振子的速度波形特征,提出了理想的驱动波形.通过简单推导得出纵、扭振动压电振子两端的振动方程,并在此基础上画出了对应的等效电路图.利用此电路对超声马达进行了理论分析.文中分析了超声驱动控制技术的研究现状和超声驱动现有驱动源的原理和局限性,并设计了一种新的驱动电源,试验表明它的输出有很好的特性,可以满足超声驱动对驱动源的要求.通过有限元方法,得到了所设计的超声马达的各阶振动模态和相应的振动频率,指出了其工作频率.
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