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该文简单介绍了化学气相沉积(CVD)金刚薄膜研究的历史与现状以及基本原理,然后 着重介绍了作者用热丝法在金刚石高密度形核的机理方面所作的工作.
硅衬底上化学气相沉积金刚石研究
【摘 要】
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该文简单介绍了化学气相沉积(CVD)金刚薄膜研究的历史与现状以及基本原理,然后 着重介绍了作者用热丝法在金刚石高密度形核的机理方面所作的工作.
【机 构】
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北京大学
【出 处】
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北京大学
【发表日期】
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1999年期
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